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| 2005年版中国MEMS器件市场竞争研究 |
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2006-12-28 |
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| [报告名称] |
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2005年版中国MEMS器件市场竞争研究 |
| [交付方式] |
EMS特快专递 EMAIL |
| [完成日期] |
2005-4-29 |
| [报告页数] |
21页 |
| [报告字数] |
字 |
| [图 表 数] |
个 |
| [报告价格] |
印刷版￥1000 电子版￥1500 印刷+电子￥2000 |
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010-82630675 |
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| 报告简介 |
| 当今微电子技术的加工尺寸已从微米（μm）→半微米（0.5μm）→亚微米（0.35μm、0.25μm、0.18μm、）→深亚微米（0.13μm、0.11μm）→纳米（90nm），正在向65nm→45nm→32nm→22nm过渡。按ITRS2003规则，2004年要实现90nm节点，这意味着微电子技术加工尺寸于2004年真正步入纳米尺度。随着微电子技术延伸和拓展（从二维到三维）至机械领域，美国提出了微电子机械系统概念（Microelectromechanical System，MEMS），即通过微电子技术与精 |
| 报告目录 |
1.发展现状
2.市场竞争分析
3.国内主要研究单位与厂商动态
3.1 北京大学微米纳米加工技术国家重点实验室
3.2 重庆微系统科技股份有限公司
3.3 清华大学微米、纳米技术研究中心
3.4 北京青鸟元芯微系统科技有限责任公司
3.5 信息产业部电子第13研究所微米纳米中心
3.6 山西科泰微技术有限公司
3.7 上海交通大学微纳米科学技术研究院
3.8 中国MEMS IC Semiconductor公司
4.热点产品分析
4.1 RF MEMS
（1）微机械高Q电感器
（2）MEMS可变电容器
（3）MEMS开关
（4）MEMS滤波器
（5）MEMS移相器
（6）MEMS VCD（压控振荡器）
（7）MEMS谐振器
（8）MEMS振荡器
4.2 光MEMS
（1）光开关
（2）波分复用器
（3）光功率限幅器
（4）光调制器
4.3 微型传感器和微型执行器
（1）可实时探测单个病毒粒子的MEMS传感器
（2）MEMS探测器
（3）Intelleu 低值线性加速计
（4）±2g 双轴加速计
（5）双轴线性加速计
（6）越低噪声双轴热感应加速计
（7）MEMS 压力传感器
（8）MEMS 气象传感器
5.技术发展动向分析
（1）研究方向多样化
（2）加工技术多样化
（3）MEMS系统进一步集成化和多功能化
图表目录
图1 2003-2008年全球用于光网络的MEMS市场预测
表1 2001-2006年全球MEMS市场预测
表2 MEMS开关与MESFET开关、PIN开关比较
附表1 国内主要MEMS研究单位与厂商名录
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